LED外延片PL譜掃描成像儀/PL Mapping/PL譜儀
功能介紹
1. 檢測外延片PL（光致發光）光譜和白光反射光譜。
2. 通過外延片PL光譜測量外延片逐點的：峰值波長（WLP）、主波長（WLD）、光譜半寬（HW）、積分光強（INT）、峰強度（PI）。
3. 通過白光反射光譜測量外延片逐點的：薄膜厚度（Thickness）和反射率（PR）。
4. 顯示及輸出各被測量參數的均值（Mean）、均方差（Std）、標準差率（CV）等統計結果，并以圖形形式顯示各項參數的Mapping分布。
5. 其他選配功能：
· 可選配多個激光器，最多可配4個激光器。
· 可配置測量各波長段（UV-VIS-NIR）DBR（分布布拉格反射）數據。
· 可配置外延片翹曲度測量功能。
· 可配置激光打標機。
· 可配置光功率傳感器。（對應Photo Detector）
設備機型
IM-1130（移動機柜手動型PL譜儀）：IM-1130型PL譜儀采用可移動機柜形式，方便操作，標準機型可測量2、4、6寸片，其中2寸片可一次測量4片，根據客戶需要可配置一次測量9個2寸片的載物臺。
IM-2040（傾斜料倉2、4寸自動型PL譜儀）：IM-2000全自動型PL譜儀是針對2、4寸片專門設計的自動機型。該型號設備使用標準cassette料盒為載具，一次最多可放置3個料盒，共75片外延片。
IM-3000（雙臂機械手型PL譜儀）IM-3000雙臂機械手型PL譜選用柱坐標機械手自動取放片，自動正片，使用標準cassette料盒為載具，共設有3個工位，一次最多可測75只外延片。